Apparatus / Equipment 光学顕微鏡 / Optical microscope 走査型電子顕微鏡 / Scanning electron microscope(SEM) チップマウンタ / Chip mounter ガスセンシング装置とインピーダンスアナライザ / Gas sensing and Impedance analyzer 炉 / Furnace スピンコーター / Spin coater 環境試験機 / Environmental equipments
